乔冬良

半导体厂务空调体系要兼顾生产场景温湿度恒定、洁净度达标等严苛指标与能耗管控目标，多维度指标耦合矛盾会束缚能耗管控成效与作业稳态，依托晶圆制造工序特征与空调机组运转轨迹，调校调控思路与配合模式，推动空调机组低耗作业、环境指标精细管控、设备运转稳健性同步进阶，构筑半导体厂务空调体系高能效低排放运转的技术路径与实践参照。

半导体厂务；空调系统；协同节能；控制策略

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