作者
李 祯
文章摘要
本文通过对某晶圆级塑封膜生产车间内空气异味的治理，分析了引起该类电子洁净厂房室内空气异味的原因，并给出了针对类似电子工业洁净厂房异味治理的多种实用可行的方案。
文章关键词
电子工业洁净厂房；挥发性有机化合物TVOC；空气质量改善
参考文献
[1] 秦学礼.集尘电路生产厂房废气的污染及治理[M].第五届中国国际集成电路产业展览暨研讨会论文集.2007 年.P194~P201.
[2] 沈祖宏、刘书俊.集成电路制造中化学气相沉积工艺废气的处理.洁净与空调技术.2011 年第 1 期.P4~P7.
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