傅建国

随着微纳制造技术的迅速发展，高分辨率激光雕刻作为一种重要的微纳加工手段，在微纳结构制造领域展现出巨大潜力。本文聚焦于高分辨率激光雕刻工艺在微纳结构制造中的应用，深入研究其工艺参数智能匹配与表面质量调控方法。首先阐述激光雕刻的基本原理与系统构成，分析工艺参数对微纳结构制造的影响，进而引入智能算法实现工艺参数的优化匹配，并详细探讨表面质量调控的策略与方法。通过对相关理论与实验结果的综合分析，为高分辨率激光雕刻工艺在微纳结构制造中的高效、精准应用提供理论依据与技术支持。

高分辨率激光雕刻；微纳结构制造：工艺参数；智能匹配；表面质量调控

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