作者
龚 昱
文章摘要
半导体自动物料搬送系统是现代半导体制造过程中不可或缺的一部分，其运行的稳定性和效率直接影响到生产线的产能和产品质量。本文重点探讨了实时监控与故障诊断技术在该系统中的应用，分析了该技术如何通过数据采集与分析实现对系统状态的实时监控，及时发现和诊断故障，从而提高系统的可靠性和生产效率。通过一个具体案例的分析，展示了这些技术在实际应用中的效果和优势，为未来的半导体制造系统提供了有益的参考和借鉴。
文章关键词
半导体自动物料搬送系统；实时监控；故障诊断；系统可靠性；生产效率
参考文献
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