王潇敏

多晶硅是光伏、半导体等行业的重要原料，其尾气治理直接影响资源利用率和环保效果。改进的西门子工艺生产过程中，尾气中主要含有氢气、氯硅烷和氯化氢等成分，这些成分既有回收利用价值，又造成资源浪费和环境污染。传统的尾气处理方法多采用碱液喷射吸收法，虽可达到排放标准，但不能有效回收含氯硅烷氢，且产生大量含硅废水和废渣，造成二次污染。随着光伏产业规模的不断扩大和环保政策的日益严格，发展高效、低耗、资源化的还原尾气回收技术是多晶硅工业实现节能减排和绿色发展的关键技术瓶颈。在此基础上，结合变压吸附、低温分离等先进工艺，实现氢气净化回收、氯硅烷高效捕获和氯化氢回收，对降低多晶硅原料消耗，降低生产成本，促进多晶硅产业向资源节约和环境友好型转型升级，具有重要的现实意义。

多晶硅；装置尾气；回收工艺研究

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