作者
顾 淼
文章摘要
精密制造领域中超纯水水质对成品良率有决定性影响，TOC作为水质管控核心指标，系统运行期间常出现指标超出限定范围的情形，针对TOC超标涉及的三类诱因，本文从原水预处理、设备管路改造到全流程标准化管控搭建完整调控体系，涵盖滤料升级、管路材质替换及分段在线监测等优化手段，各项措施落地后原水有机物截留效率提升，管路内源析出量下降，终端产水TOC稳定于标准区间，整套方案可压缩水质异常波动频次，为超纯水系统长效稳定运行提供实操支撑。
文章关键词
超纯水；TOC；水质管控；预处理；管路改造
参考文献
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