王 伟,王佳莉

流化床法制备颗粒硅技术凭借其高效、低耗的优势，成为多晶硅生产领域的研究热点。然而，反应器内壁沉积问题严重影响颗粒硅品质与生产效率。本文针对此问题，深入剖析流化床反应器内硅烷分解沉积机制，结合数值模拟与实验验证，探究内壁沉积对颗粒硅品质的耦合影响，包括颗粒粒径分布、杂质含量及晶体结构等方面。研究结果为优化流化床反应器设计、提升颗粒硅品质提供理论依据与技术支撑，对推动光伏产业可持续发展具有重要意义。

流化床反应器；内壁沉积；颗粒硅品质；耦合效应

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