杭 炜

随着微纳制造技术的不断进步，微纳尺度下的机械工程领域呈现出蓬勃发展的态势。本文系统地综述了微纳尺度下机械工程中热力学效应的研究进展。深入剖析了尺寸效应、非局部效应、量子效应等特殊效应如何影响热传导、热弹性等热力学过程。详细介绍了实验、理论和数值模拟等多种研究方法在该领域的应用，并全面讨论了这些热力学效应在微纳机电系统、纳米电子器件、能源等多个领域的实际应用情况。同时，对当前研究的现状与面临的挑战进行了客观分析，对未来的研究方向进行了前瞻性展望，旨在为微纳尺度下机械工程热力学效应的进一步研究提供参考和指引。

微纳尺度；机械工程；热力学效应；尺寸效应；量子效应

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