作者
肖 洁
文章摘要
管式PECVD是晶体硅太阳电池规模化生产核心装备，光伏行业进入N型高效电池迭代周期，其向大管径升级。单机产能提高后传统设计短板暴露，限制大产能机型应用，粗放扩容难满足量产需求。本文以大产能管式PECVD整机结构为研究对象，结合产线运维数据与工艺痛点，从理论出发对六大核心模块优化设计，并经样机实测与产线验证。
文章关键词
管式PECVD；大产能；结构优化；承载系统；流场均匀化；光伏装备；可靠性设计
参考文献
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