作者
李 祯
文章摘要
本文通过对某六吋晶圆厂房实际设计案例进行解读，分析该类项目工艺特性、结构形式、厂务系统等，重点阐述了来空调系统设计方案，并给出了该类项目空调系统设计要点。
文章关键词
六吋硅基晶圆厂房;空调系统设计
参考文献
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