马开风

本文详细介绍洁净室气流模拟原理，以一典型半导体生产基地项目光刻区为例，提出该项目气流模拟实现的方案和步骤，对洁净室温度、速度、压降进行CFD气流模拟。根据模拟结果调整系统设计方案，为实现洁净室新风系统在空间及地板平面布局满足洁净室空间气流的稳定，确保各区域气流分布合理，具有很好的动态适应性，提供技术方案。

气流模拟；洁净厂房；通风

[1] 张梅,霍金鹏.CFD气流仿真模拟技术在洁净厂房项目中的应用[J].暖通空调,2022,52(S1):358-361. [2] 王福军.计算流体动力学分析:CFD软件原理与应用[M].清华大学出版社有限公司,2004. [3] 孙辉.基于CFD的某工业车间气流组织优化研究[D].扬州大学,2023. [4] Dong L,Zhang K,Qian Z.The investigation of air temperature characteristics in large-span manufacture area of clean room[J].Intemational Journal of Ventilation,2022,21(4).

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