栾伟杰

切磨抛过程中产生的微粒和气体排放会导致厂房洁净室内各区域压差波动，进而降低洁净度。为此，本文提出切磨抛厂房洁净室多区域动态压差协同控制方法。构建多区域切磨抛厂房洁净室的数学模型，以描述各区域间的气流组织与压差关系。基于建立模型，设计基于余风量控制法的多区域协同控制策略。该策略通过实时监测并动态调节各区域的送、排风的风量，协同控制洁净室内多区域间的压差梯度稳定。实例分析结果表明，设计策略控制下切磨抛厂房洁净室各区域的洁净度与压差均可以满足要求，验证了其工程应用的优越性。

切磨抛厂房；洁净室；压差控制；多区域控制；动态控制；协同控制

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