作者
张先槟
文章摘要
洁净室工艺冷却水系统对维持生产环境稳定至关重要。本文针对该系统在水流量、温度调节、水质管理等方面存在的能耗高与稳定性差问题，提出一系列解决方案。在设计上，综合考量冷却方式，选用高效低能耗设备，优化管道布局；节能技术上，结合蒸发冷却与直接冷却技术，运用高效换热器、冷却塔及水质管理技术；运行优化方面，采用 PLC 自动控制、优化设备调度与管理、合理选择及维护设备。最终实现系统节能，提升冷却效果，延长设备使用寿命，保障洁净室稳定运行。
文章关键词
洁净室；工艺冷却水系统；节能设计；运行优化；设备维护
参考文献
[1] 怀特,库斯,德科,等.洁净室粒子沉积机理[J].洁净与空调技术,2025,(01):11-15.
[2] 朱喆,朱学锦,寿炜炜,等.某大科学装置项目工艺冷却水系统设计[J].暖通空调,2024,54(08):179-183.
[3] 张青,李文静,孙荣亮,等.硬 X 射线自由电子激光装置中低温工厂工艺冷却水系统设计[J].工程技术研究,2024,9(07):155-157.
Full Text:
DOI
